多功能真空镀膜仪(双超所)

湖南省超微结构与超快过程重点实验室设备

    该系统具有三个腔室，即主镀膜室、预处理室、过渡室，一个联并的手套箱系统。主镀膜室含有十四个工位(10个有机蒸发束源炉，4个无机蒸发舟)，能够同时沉积不同的有机材料，可以对基底进行在线温控及检测，并有5个多方位的石英膜厚探测器，能够准确对器件膜厚进行原位检测；预处理室负责基底表面清洗(等离子轰击)；过渡室负责在主真空室和手套箱系统的桥梁作用；一个能够准确控制位置的传递杆在高真空条件下可对器件在三腔室和手套箱之间进行传递，确保器件的稳定性。